失效分析是對于電子元件失效原因進行診斷，在進行失效分析的過程中，往往需要借助儀器設備，以及化學類手段進行分析，以確認失效模式，提出改善預防措施。其中在進行微觀形貌檢測的時候，尤其是需要觀察斷面或者內部結構時，需要用到離子研磨儀+掃描電鏡結合法，來進行失效分析研究。

談到電子器件，電子器件的結構異常隱蔽性極強，此隱性憂患缺陷尺度等級，往往達到微米與納米等級，且突發破壞率大，因此具有嚴重的危害性。陰險框架中的雜質、介在物、空洞、腐蝕開裂等都無法在后續加工中去除，反而容易造成更嚴重的破壞。

案例分析 
本次分享的案例中主要關注引線框架表面的氧化狀態，使用離子研磨儀的制樣方法，搭配日立冷場發射電鏡（SEM-EDS），結合掃描電鏡的背散射電子像、二次電子像以及能譜元素分析結果，清晰觀測了失效位置的形貌、相組成，并結合元素組成成分綜合分析了元器件失效的情況。

在進行電子器件失效分析時，首先觀察失效件表面的微觀形貌。日立冷場發射電鏡背散射電子探測器和二次電子探測器，可給出樣品成分和形貌信息，為您提供 兩種成像模式:成分模式和形貌模式，兩種模式各有特點，可以呈現不同的細節信息。

經過一次回流焊后銅框架表面氧化和其他揮份污染，變為暗紅色，焊接性能大大降低。日立冷場發射電鏡可以設置同時采集 BSD 成分像和 SED 形貌像信號，可以清晰看到高溫之后框架上表面暗紅色部位的形貌，推測為銅氧化“鍍層”，結合掃描電鏡的能譜 EDS 成分信息分析，主要為銅、氧、碳及其他少量元素。

掃描電鏡+離子研磨 

在對焊接部位的焊接情況進行分析時，需要對內部結構進行微觀結構的觀察和分析，內部的孔隙、不均勻等會導致其在使用過程中產生故障。觀察焊接處的內部結構，就需要將焊接處進行切割。
傳統的切磨方法會改變焊接處的斷面結構，無法真實觀察到焊接處的內部情況。使用離子研磨儀切割的方法，通過使用合適的能量離子槍，利用離子束進行剖面切削或表面拋光處理，可以有效解決以上問題。
日立冷場發射電鏡搭配牛津能譜儀兼顧 SEM & EDS 形貌和成分，離子研磨儀切削后的焊錫截面內可以看到氣孔和近銅界面的合金相。

通過使用掃描電鏡（SEM）+能譜（EDS）分析，發現銀-錫膏和銅面結合，界面有銅-錫為主合金化晶粒生長，銅引腳有鍍鎳層，并在正常區存在氣孔和大量的鐵富集相夾雜。